מהם הגורמים המשפיעים על איכות היעד

　 עם התפתחות הטכנולוגיה התעשייתית, גם איכות המטרות הנדרשות לייצור תעשייתי הולכת ועולה, מכיוון שאיכות המטרות משפיעה ישירות על הביצועים של סרטי מקרטעת מגנטרון.כיום, ארגונים מעדיפים בדרך כלל להשתמש ביעדים בצפיפות גבוהה עם מבנה הרכב אחיד לציפוי מקרטעת בעת רכישת מטרות, כדי לצמצם את התפירה המרובה של המטרות ולשפר את איכות ציפויי הקזת. לכן, הדבר מחייב את יצרן המטרה להקפיד לשלוט באיכות היעד. עכשיו תן לעורך של בייג'ינגריצ'מאטלקחת אותך להבין אילו גורמים משפיעים על איכות היעד.

1、השפעת פרמטרי התהליך על איכות היעד

פרמטרים של תהליך כוללים בעיקר לחץ כבישה קרה, מהירות לחץ ומהירות פירוק ופרמטרים נוספים.כאשר המטרה נלחץ קרה, הלחץ ישפיע ישירות על איכות היעד הריק;למהירות הלחץ יש השפעה רבה על הריבוד של ריק היעד, והמצב ההתחלתי כאשר האבקה ממולאת באופן אחיד לתוך התבנית השלילית הוא מצב רפוי, בעל נקבוביות וגזים רבים, ופריקת הגזים אורכת תקופה של זְמַן.

2、ההשפעת עובש על איכות המטרה

לתבנית יש גם השפעה מסוימת על היווצרות ריק המטרה.גורמי ההשפעה העיקריים כוללים את גימור פני השטח של הצד הפנימי של התבנית, הרווח בין האגרוף לחלל התבנית וכו'. אם הרווח גדול מדי, תתרחש ריצת אבקה ונזילת אבקה, מה שיגרום לצפיפות השולית של החסר נמוך, ובעיות איכות כגון נפילת קצה במהלך הורדת התבנית.　

3、השפעת תכולת הלחות של החומר על איכות המטרה

　　הלחות הכלולה באבקת חומר המטרה שוות ערך להשפעת חומר הסיכה, ונוכחותה יכולה להפחית את החיכוך בין החלקיקים, דבר המסייע להעברה יעילה של לחץ כבישה קרה, וכן תורם להחלקה חלקה. סידור מחדש בין חלקיקי האבקה.עם זאת, כאשר תכולת המים קטנה מדי או גדולה מדי, זה ישפיע על איכות המטרה.

כאשר תכולת המים באבקת ITO היא פחות מ-2%, ההסתברות לבעיות איכות כגון אובדן קצה ודילמינציה של חומר המטרה תגדל במידה רבה כאשר תנאים אחרים כגון לחץ כבישה קרה ותכולת קלסר זהים. כאשר המים תכולת אבקת ITO היא יותר מ-10%, באותו לחץ כבישה קרה, תכולת קלסר ותנאים אחרים, למרות שחלקיקי האבקה מחליקים ומתארגנים ביתר קלות, מים נפלטים מבפנים התבנית, מה שיגרום לבעיית נפילה קצוות סביב החסר של חומר היעד.התוצאות מראות שכאשר תכולת המים של האבקה היא בין 3% ל-6%, איכות הריק נשלטת ביעילות.

4、השפעת תוכן קלסר על איכות היעד

　　לכמות הקלסר המשולבת יש השפעה רבה על איכות חומר המטרה.כאשר כמות השילוב היא פחות מ-1%, לריק היעד תהיה בעיית איכות חמורה מאוד, בשלב זה, השפעת הקלסר אינה מוצגת, ויש לה השפעה מועטה על שיפור החוזק של ריק היעד. העלייה של שילוב קלסר ל-2% ו-3%, חוזק חומר המטרה מוגבר, ובעיית האיכות של חומר המטרה מצטמצמת מאוד.עם זאת, כאשר הקלסר משולב ל-4%, למרות שבעיית האיכות של הריק בכבישה קרה של חומר המטרה נעלמת, חומר המטרה מתפרק מדי פעם בתהליך הפירוק שלאחר מכן.